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韩文韬离开“北辰精密”,自然要去晶圆厂那边看看。
193nArF准分子激光器解决了,配套的物镜系统也完成了。
“北辰半导体”这边的晶圆厂,之前用的都是老式的光刻机居多,制程工艺是0.25u!
是微米!
还没进入纳米制程。
如今,全部都能换成193nArF准分子激光器的DUV光刻机,可以说只要不断升级,可以一直用到7n。
用多重曝光技术,可以用到5n工艺。
“韩董!”
邱云很忙,DUV光刻机技术确实已经搞定,可要再现在光刻机上做升级,有太多需要改动的地方。
并不是说将激光器和物镜系统一换,就能用的。
改造起来,就是比完全重新制造,好一点点!
完全自己造DUV光刻机,“北辰精密”目前还在攻克其他各方面的技术。
整个光刻机,并不是说只有光源系统、物镜系统、工作台三大核心系统。
其他零部件和技术,同样十分重要。
还有软件控制系统方面,即便是在原来老式光刻机上改进DUV光源、物镜系统,软件系统也需要更新和改进。
也需要协调“北辰软件”来帮忙。
这还只是光刻机!
晶圆厂里,光刻机只是芯片生产制造中,其中一个设备而已……光刻机一换,配套的设备、制程工艺都需要更换、更改!
牵扯极大!
邱云这段时间是最忙的!
但忙归忙,人是干劲十足,是有盼头的。
加入“北辰半导体”,韩文韬就说过,会投入大量资金,解决光刻机问题。
他其实……多少是有点不相信,没多少信心的。
万万没想到,这才多久?
DUV光刻机就解决了!
已经真正追上尼康、阿斯麦这些光刻机巨头了。
目前尼康、阿斯麦出售的最先进光刻机,也就是DUV光刻机,只不过制程工艺更加先进。
目前,阿斯麦、尼康这种第一梯队的光刻机供应商,已经能供应65n光刻机。
这里是供应光刻机!
而且供应是比较慢的。
光刻机到晶圆厂,还需要调试、还需要爬坡等等,65n真正量产,大规模使用,最少也要等到2005年、2006年!
对于“北辰半导体”晶圆厂来说,一两年的时间,完全可以追65n工艺!
3-5年,甚至能追赶内置反超台电、英特尔、三星等晶圆厂,率先实现45n工艺的量产。
“目前我们已经放弃90n工艺……“北辰半导体”90n工艺的芯片,继续委托台电生产!”
“我们目前主攻65n和45n工艺!”
“65纳米工艺,我们不能放弃,这个制程未来最少能用3-5年时间。”
““北辰精密”下一代65n芯片,前期可以委托台电生产,之后我们可以自己量产!”
“晶圆厂也需要大量的订单,将65n工艺吃透……才能真正上马45n工艺!”
“等到45n工艺节点,我们就能和世界顶尖的晶圆厂:台电、三星、英特尔等持平,甚至领先!”
“我们就能做到,自己设计、流片、量产、封装……完全自主!”
45n工艺,以目前的制程工艺迭代速度,可以用7-8年时间!
预计要2006-2008年才能真正量产,取中间数也是2007年!
还有4年时间!
放弃90n工艺,直接瞄准65n和45n工艺。
足够邱云带领团队,从追赶者,成为领先者!
韩文韬点了点头:“这方面,邱总你才是是专业的,按照你的规划走就行。”
“我刚才从光刻机研究团队那边过来……目前EUV激光器、光源方面,已经有巨大突破!”
“在下一代光刻机上,我们是走在前面的。”
“目前,我准备收购徕卡,你知道对晶圆厂这边,有没有什么帮助!”
“徕卡?!”
邱云听到韩文韬要收购徕卡,微微一愣。
他加入“北辰半导体”之后,一直在忙碌,从建厂到调试、跑工艺、提升良率……现在又带队攻坚65n和45n工艺。
真的没注意徕卡的情况。
但是徕卡在相机领域的实力,镜头、镀膜各方面的技术,他还是知道的。
“当然有帮助!”邱云有些激动地说道:“有徕卡的技术和工艺,我们能更快吃透DUV工艺,加快65n、45n工艺的研究!”
“后续良率提升,也能更顺利!”
“要是能收购蔡司……那就……”
收购蔡司是不可能的!