第858章 即将流片(2 / 2)

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半年后的一个深夜。

材料区的单晶炉前围了一圈人。

炉体是乌·索万纳带人用林超在空间设计的图纸建造的。

石英坩埚里高纯度硅料被熔成暗红色的液体。

原料用的是西加里曼丹矿区的石英砂。

二氧化硅含量九十九点九以上,经过多次提纯,纯度逼近了半导体级的门槛。

“拉速稳住。”周文远盯着仪表。

“每分钟两毫米,不能快。”

籽晶缓缓下探,接触液面,然后以肉眼难辨的速度向上提拉。

一小时。两小时。五小时。

天边泛起鱼肚白的时候,炉体冷却舱打开。

一根手臂粗细的银灰色晶棒躺在支架上,表面流转着镜面一样的光泽。

单晶硅棒。

洞室里先是一阵安静,随后欢呼声四起。

几个年轻学员把手里的记录本抛上半空,纸张哗哗地落。

有人当场就哭了,蹲在设备旁边抹眼睛。

从砂子到晶棒,这是半导体最难的第一关。

全世界的技术封锁,卡的就是这种东西。

如今婆罗洲自己的矿山、自己的炉子、自己的人,把它拉出来了。

顾应湘挤开人群走过去,伸手摸那根晶棒。

指尖碰到冰凉的硅面,他的手一直在抖。

这个在汽车行业摸爬滚打半辈子的老工程师,眼眶红了。

“真成了。”

林超看着那根晶棒,松了口气。

“顾总。

准备流片。”

……

三天后,流片试生产的各项准备全部就绪。

晶棒切片很顺利。

几十片薄薄的晶圆码放在专用卡匣里,镜面一样的表面映着灯光。

抛光、清洗、烘干,每一道工序都反复核验。

无尘车间里,所有人换上连体无尘服,只露两只眼睛。

顾应湘站在主控台前,手里拿着工序总表,一项一项地念。

“扩散炉预热完成。”

“光刻机物镜组校准完成,套刻误差零点三微米。”

“清洗线就绪。”

“蚀刻线就绪。”

每报一项,顾应湘就在表上打一个勾。

打到最后第二项,他的笔停了。

“特种气体库存?”

材料组的小组长翻开台账。

“高纯硅烷剩四罐,磷烷两罐,掺杂气体各一罐。

老板从西德绕道买来的那批,撑得住三次流片。”

“三次。”顾应湘合上表。

“够了。第一次流片定在后天上午八点。”

车间里的气氛绷到了顶点。

半年多,几万人围着这个项目转,成败就看这一炉。

当天深夜,林超留在洞室办公室没走。

他把流片工艺的每一道工序卡又过了一遍,确认没有纰漏,才靠在椅背上闭眼休息。

凌晨三点,桌上的电话响了。

“老板,出问题了。”