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科学工程的推进,从来都不是一件一蹴而就的事情。
毕竟,在全息屏幕上进行理论推导、画设计图纸是一回事,而将这些图纸真正转化为现实中的钢铁零件与化学流体,则是完全不同的另一回事。
从第二天清晨八点开始,科学研究院主楼后方的三座大型综合工程实验室,便彻底变成了光刻机的试验场。
按照头一天晚上各个专业组提交的物资清单,内阁与工程部的后勤车队展现出了很高的调配效率。
天色刚刚蒙蒙亮,几十辆重型军用卡车便排着长队驶入院区,将一箱箱最基础的不锈钢板材、普通石英砂、工业级酸碱试剂,以及十几台从地方职业技术学校仓库里翻出来的老式低精度车床、铣床,整整齐齐地卸载在了实验室的空地上。
没有高精度的数控加工中心,也没有现成的高纯度耗材。
两百八十六位平日里习惯了在无尘室里指挥若定的大夏顶尖院士,在这一刻纷纷脱下了体面的正装,换上了耐脏的深蓝色粗布工装,戴上了防护手套和护目镜。
验证的过程,并没有预想中那么顺利。
在第一天的试制中,材料组在用普通不锈钢焊接常压反应釜、尝试利用声波震荡提纯多晶硅时,就遇到了麻烦。
因为老式焊机的电流不够稳定,焊接出的反应釜内存在着肉眼看不见的微气孔,导致在注入螯合剂进行第一次提纯反应时,釜内的金属杂质沉淀率始终无法达到预期的九个九标准,连续三炉出来的硅料全都因为纯度不达标而宣告报废。
而在隔的机械与光学联合实验室里,情况同样充满波折。
孙明院士带领的机械组在浇筑那个一体式模块化拼装外壳时,由于采用的环氧树脂花岗岩替代配方在凝固过程中的收缩率计算出现了一丝偏差。
导致第一批浇筑出来的外壳框架,其内部的锥形机械卡槽出现了零点三毫米的形变。
这点误差放在普通机床上或许不算什么,但在光刻机这种需要纳米级对准的精密设备上,直接导致吴启明那边磨制出来的临时反射镜模块根本无法严丝合缝地卡入导轨。
面对这些从图纸地时必然会出现的工程磕绊,没有一位院士表现出急躁或气馁。
反应釜有气孔,材料组的老院士们就亲自拿着砂轮机和手动抛光膏,钻进闷热的铁罐子里,一寸一寸地打磨焊缝,并重新调整了声波发生器的频率。
外壳收缩率不对,孙明和几位老院士就守在浇筑模具旁,每隔十分钟记录一次环境温湿度,往树脂里一点点添加石英粉来修正膨胀系数。
在这场将高端技术强行向下兼容的实战演练中,这群平均年龄超过六十岁的国宝级学者们,展现出了扎实的基本功。
大祭司牛志学和院长周平这几天也没有离开半步。
为了防止这帮老头子真的背着他们搞通宵疲劳作战,牛志学每天晚上十点整就会准时出现在实验室里,拿着大喇叭强制拉闸断电,像赶鸭子一样把意犹未尽的院士们全部赶回招待所睡觉,直到第二天早上八点才重新开门。
就这样,在经历了无数次的参数微调,零件返工与管线重排之后。
时间一晃,足足过去了五天。
第五天下午,四点二十分。
在一号工程实验室的中央空地上,一台外表看起来略显粗犷,通体呈暗灰色蜂窝状结构,体积比海城标准版了一圈的光刻机,已经伫立在了临时搭建的防震地基上。
就在半个时前,机械组特意从院办保卫科找来了五个只具备高中学历的年轻卫兵。
在给了他们半天时间阅读那本图文并茂的傻瓜式拼装手册后,这五个年轻人在没有任何院士插手指导的情况下,仅仅依靠一台型手动龙门吊和几把扭力扳手,真的在九个半时内,将十一个沉重的功能模块全部滑入卡槽,完成了整机的物理拼装!
此刻,这台拼装完毕的机器正处于通电运行状态。
机器内部发出了低沉而规律的嗡鸣声。
准分子激光深紫外光源模块透过倍频晶体,射出了一道稳定的光束。
经过磁流变液快速研磨出的反射镜头组,精准地将光束折射聚焦。
下方的双工件台在简化版天火程序的控制下,正在进行着高速的步进移动。
实验室正前方的检测大屏幕上,正实时显示着刚刚从机器出口处送出来的第一片测试晶圆的电子显微镜扫描图像。