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第3172章 真的有1.2微米?(2 / 2)

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优子答应了一声,就出去了。

小野副部长带人来得很快,可能也是听优子简单说了情况,过了不到半个小时,他带着人就风风火火的进来了。

“晴子小姐,我听说.......”

他的话说到一半,目光就落在了桌上的那个半成品的圆晶板上。

然后快步走过去,拿了起来。

“嘶.......这个?”

此时,这位小野副部长脸上的神情都已经不是惊讶了,甚至都有些惊骇的样子。

他看了两眼,又从身后的随行人员手里接过放大镜,盯着上面,仔细看上面的曝光线路。

“这,这.......”

一直看了好几分钟,小野部长才缓缓的抬头看向田向南,还有住友晴子。

“晴子小姐,这个东西,哪来的?”

住友琴子用目光示意了下旁边的田向南。

“是他们自己国家某研究室里出来的。”

“不可能.......”

小野副部长当即出口否认,可又低头看了看手里的那块圆晶板,脸上满是难以置信。

随后,他又把东西递给了身后的技术人员。

“再检测一下,看精度与线路.......”

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又是一番检查,几个人拿着放大镜盯着圆晶板研究了好一会儿,最后才用日语小声交流了起来。

田向南见状皱眉,咋的,这有话还背着自己说啊?

住友琴子注意到了他的神情,脸上同样带着复杂的神色,小声的帮他翻译着。

“那几位技术人员说,你们这个曝光和蚀刻的技术,包括线路,技术痕迹是非常粗糙的,还属于初级架构。”

“但是,光线束精度这一块,是1.5微米,部分节点还夹杂着1.2微米的雕刻精度。”

“目前你们的线束精度这一块,确实已经达到了国际二三流水平,就是技术线路这一块差的还很远......”

“呵呵.......”

田向南闻言轻笑了一声,摊了摊手。

“只要精度这一块能满足不就行了,正好线路这一块儿,有你们的技术包补充......”

“换句话来说,前几天我的那个想法,是不是有很大能完成的可能性了?”

“........”

住友晴子没接话,只是脸上的神情很复杂,有惊疑,有感叹,还有几分犹豫。

倒是那位小野部长闻言,在旁边插了一句。

“什么技术包?”

“呵呵.......”

田向南看着他。

“没什么,我跟青子小姐讨论的是,你们转给青山镇的那个1生产线路,要是采用我们国产的这种光刻机,良品率是不是能提高很多?”

“呃.......”

小野副部长也不说话了,只是同样用复杂的眼神看着田向南。

是啊,他是真没想到,这个国家实验室里的光刻机精度竟然已经达到了1.2微米。

虽然比他们NEC厂里的设备精度差的还很远,但这已经是个非常不好的信号了。

因为这次他们转给青山镇半导体厂的光刻机,也不过才两微米的精度,这中间差了好几个跨度。

不行,得把这种情况通报给公司了。

如果,让他们国内的相关技术再发展下去,那以后,肯定会严重影响到他们NEC公司,在这个国家布局的电子市场的发展战略。

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