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优子答应了一声,就出去了。
小野副部长带人来得很快,可能也是听优子简单说了情况,过了不到半个小时,他带着人就风风火火的进来了。
“晴子小姐,我听说.......”
他的话说到一半,目光就落在了桌上的那个半成品的圆晶板上。
然后快步走过去,拿了起来。
“嘶.......这个?”
此时,这位小野副部长脸上的神情都已经不是惊讶了,甚至都有些惊骇的样子。
他看了两眼,又从身后的随行人员手里接过放大镜,盯着上面,仔细看上面的曝光线路。
“这,这.......”
一直看了好几分钟,小野部长才缓缓的抬头看向田向南,还有住友晴子。
“晴子小姐,这个东西,哪来的?”
住友琴子用目光示意了下旁边的田向南。
“是他们自己国家某研究室里出来的。”
“不可能.......”
小野副部长当即出口否认,可又低头看了看手里的那块圆晶板,脸上满是难以置信。
随后,他又把东西递给了身后的技术人员。
“再检测一下,看精度与线路.......”
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又是一番检查,几个人拿着放大镜盯着圆晶板研究了好一会儿,最后才用日语小声交流了起来。
田向南见状皱眉,咋的,这有话还背着自己说啊?
住友琴子注意到了他的神情,脸上同样带着复杂的神色,小声的帮他翻译着。
“那几位技术人员说,你们这个曝光和蚀刻的技术,包括线路,技术痕迹是非常粗糙的,还属于初级架构。”
“但是,光线束精度这一块,是1.5微米,部分节点还夹杂着1.2微米的雕刻精度。”
“目前你们的线束精度这一块,确实已经达到了国际二三流水平,就是技术线路这一块差的还很远......”
“呵呵.......”
田向南闻言轻笑了一声,摊了摊手。
“只要精度这一块能满足不就行了,正好线路这一块儿,有你们的技术包补充......”
“换句话来说,前几天我的那个想法,是不是有很大能完成的可能性了?”
“........”
住友晴子没接话,只是脸上的神情很复杂,有惊疑,有感叹,还有几分犹豫。
倒是那位小野部长闻言,在旁边插了一句。
“什么技术包?”
“呵呵.......”
田向南看着他。
“没什么,我跟青子小姐讨论的是,你们转给青山镇的那个1生产线路,要是采用我们国产的这种光刻机,良品率是不是能提高很多?”
“呃.......”
小野副部长也不说话了,只是同样用复杂的眼神看着田向南。
是啊,他是真没想到,这个国家实验室里的光刻机精度竟然已经达到了1.2微米。
虽然比他们NEC厂里的设备精度差的还很远,但这已经是个非常不好的信号了。
因为这次他们转给青山镇半导体厂的光刻机,也不过才两微米的精度,这中间差了好几个跨度。
不行,得把这种情况通报给公司了。
如果,让他们国内的相关技术再发展下去,那以后,肯定会严重影响到他们NEC公司,在这个国家布局的电子市场的发展战略。
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